원테크놀로지

제품정보

▶ App.(적용분야) : 반도체 및 FPD 제조공정, PR 경화 및 습기제거, 웨이퍼 (포토 리소그래피 공정

및 전처리) 산화 방지 건조, 초고순도 휫팅 부품과 전자 부품 및 코팅피막 경화 등에 사용합니다.

▷ 디지털 PID 제어는 정밀한 온도 제어가 가능하며, 설정 값에서 Over shoot를 방지하여 안정적

입니다. (자동튜닝 기능내장)

▷ 히터 출력은 TPR 또는 SCR 전력 제어 방식으로 내압성이 우수합니다.

▷ 프로그램 세그먼트 당 타입 시그널(TS)을 설정하여 이벤트로 N2퍼지를 제어하여 냉각 시 시료의

산화와 변색, 얼룩 등을 예방합니다.(옵션)
▷ 재순환 공기는 고온형 H14 HEPA CLASS 100 (ISO CLASS 5)를 거쳐 100% 재순환합니다.

▷ 온도 조절이 가능한 과열 방지 장치 부착 (Class 2)과 청각적(Audible) 시각적(Visible) 알람 등

사용자를 위한 다양한 안전 장치를 내장.

Specifications

Model No.	WTCO-216	WTCO-288	WTCO-384
Dimensions wdh/mm (In)	600 * 600 * 600	600 * 600 * 800	800 * 600 * 800
Temp. controller	LCD Backlit 10 Step programmable digital PID controller with auto tuning (BK3)
*Temp. Range	Ambient +10℃ ∼ 230℃ (Max.: 250℃)
*Temporal fluctuation	≤±1.5℃ ∼ ≤±2.5℃ @100℃
*Spatial variation	≤±2.0℃ ∼ ≤±3.5℃ @100℃
Heater, SCR controlled	3 kW		5 kW
Material (In)	18-8 Cr-Ni stainless steel plate (STS304)
(Out)	Steel plate (SCP-1) with powder coating finished
Insulation	Mineral wool or equivalent
Door sealing	Silicone gasket
Exhaust damper	Manual damper, Stainless steel STS304, Ø100mm
HEPA Filter	H14 HEPA Filter (EN1822-1 Compliant), Efficiency : 99.995% of the particles <0.3um, Class 100 (ISO Class 5)
Safety device	Over temp. protector, Motor overload relay (EOCR), etc
Power source	AC 220 V or AC 380 V, 1 Phase or 3 Phase, 50/60 Hz
Optional Accessories
Temp. controller	Touch screen controller (TEMP2500, TEMP1500, NEX1000, TD500), LED programmable (UP35A)
Facility	N₂ purge device (WT-500H-N2 : N₂ Regulator 100L/min. Dwyer, N₂ One touch cock )
Recorder	Chart type 2 channel (SR-10006) / Paperless type (SDR100, FX-1000, GR200)
*Accordance with DIN12880-7:2005

Controller & Options

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