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WON TECHNOLOGY

기술자료

진공 (Vacuum)

관리자 2021-08-31 조회수 593

▶ 진공 펌프 선정시 유의할 점


진공펌프 사용목적 :

- 대기압보다 낮은 압력을 가진 상태로 만들기 위하여

- 기체로 채워진 진공 용기로부터 기체분자들을 제거하기 위한 것

① 작업 진공도 체크 : 각 공정마다 원할한 작업을 위해 요구되는 최적의 진공도

② 펌프의 최대 진공도 체크 : 작업 최대 진공도가 작업진공도보다 20%, 펌프 최대

진공도는 50% 더 낮은 것이 적당하다.

③ 흡입되는 가스의 종류와 양 : 작업 중 발생하는 가스의 종류나 양을 점검, 총

생산가스량과 적정 배기시간을 고려하도록 한다.

④ 진공용적의 양 : 작업진공까지 걸리는 시간을 배관의 흐름저항 및 Leak를 점검

⑤ 요구 진공도 도달 및 유지시간 체크 :요구진공도까지 도달하는 시간과 발생하는

가스의양을 고려한 진공도 유지여부를 체크한다.

⑥ 펌프의 용량 계산

s = 2.303 ×( V/T ) ×Log( P1/P2 )

S : 진공펌프의 용량(ℓ/min)

V : 용기의 용량(ℓ)

T : 진공도달시간 (min)

P1 : 초기진공도(일반적으로 대기압 760 Torr)

P2 : 요구진공도


예) 배관 및 용기의 용적 : 500ℓ

작업진공도 : 50 Torr

진공도달진공도 : 30 Sec

S = 2.303 (500/30/60) Log(760/50) ≒ 2722 ℓ/min

* 위의 계산은 여러변수(배관의 흐름저항, 리크(Leak), 휠터 및 밸브의

저항계수 흡입공기의 온도등)들을 고려하지않는 이론상의 용량에

불과하다.

* 실제 적용시는 다음의 표와 같이 안전계수를 곱해주어 용량을 계산함.

진공도(Torr)...........안전계수

760 ~ 100...............1.0

100 ~ 10................1.25

10 ~ 0.5................1.5

0.5 ~ 0.05..............2.0

0.05 ~ 0.01.............4.0

* 또한 위의 배기량공식은 점성유동 배기까지인 0.01Torr까지 제한되며

그 이하의 진공도 즉, 분자유동 배기단계 에서는 용기내 금속표면으로

부터 공기입자가 빠져 나오게되므로 적합하지 않다고 볼 수 있다.


예제) 용기의 용적 : 1000L

도달 진공도 : -4 Torr

Rotary Pump : 2000L/min

Booster Pump : 250m^3/hr

Diffusion Pump : ?